Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kry Prys

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Tuisbladsy
Oor Ons
MH Uitrusting
Oplossing
Oseagebruikers
Video
Kontak Ons
Tuis> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)
  • Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)

Reaksie-ioon-etsmasjien (RIE)

Kry 'n Gratis Aanbieding
Produkbeskrywing

RIE Reaksie-ioon-etsmasjien

Die navorsingstoepassings van RlE reaktiewe-ioon-etsmasjiene in die halfgeleiervervaardiging en mikro-nano-bewerkingsvelde word hoofsaaklik gesien in die verwerking van nanoskaalstrukture, etsing van nuwe materiale, vervaardiging van komplekse toestelle en deurbraak in interdissiplinêre tegnologieë. Die kernwaarde daarvan lê in die bereiking van hoë presisie en hoë selektiwiteit materiaalverwydering deur die gekoördineerde beheer van fisiese bombarering en chemiese reaksies. Ondersteun die verkenning van die voorkant van halfgeleiertegnologie en die innovering van toestelle.

Toerusting eienskappe:

1. Hoë presisie en anisotropie: Dit kan grafiek ets wat steil sywande en presiese dimensies het.
2. Goede eenvormigheid en herhaalbaarheid: geskik vir grootskaalse produksie.
3. Wye toepaslikheid van materiale: Deur verskillende gaskombinasies te kies, kan verskeie materiale (halfgeleiers, dielektrika, metale, ens.) geëts word.
4. Hoë selektiwiteitsverhouding: Dit kan presies spesifieke materiale ets sonder om noemenswaardige skade aan ander materiale te veroorsaak.
5. Skoonmaak: Droë proses, vermying van probleme soos skoonmaak en afvalvloeistofbehandeling wat deur natsnyding veroorsaak word.
Spesifikasie
Stelsel Konfigurasie:
Elektriese Verhitting
Kamer (Enkele holte)
N/A
Onderste elektrodetipe
242mm
Proses temperatuur reeks
-20-100°C
PLASMA bron
600W-1000W
Prosesdrukmetertipe
100mtorr
Vakuumstelsel
Molekulêre pomp eenhede, droë pomp sisteme, proses kamer
Die aantal etskamers
Enkele holte
Klemme
Tipe
Grootte/mm
Materiaal
N/A
8、6、4、3、2
Eindpunt opspoorapparaat
Opsie
Induktief gekoppelde plasma
Opsie
Tegniese parameters：
Etsermateriaal
Si, Sio, Sin, Sau, Pt, Al
Etsnelheid
>20 nm/min (Si02 materiaal) Die snelhede van verskillende materiale is nie dieselfde nie
Verspreide beheer
>85°
Laai metode
Oop laai
Gaspijpleiding beheer deur MFC
Ses gashouers is beskikbaar
Helium rugkant koelopsie
Ja
Mens-masjien grens
Aanraakscreenuitvoering
Bedryfstelsel
Voloutomatiese modus, nie-voloutomatiese modus
Keuse en konfigurasie van outomatiese toestelle
U kan kies tussen ingevoerde of plaaslike onderdele
Toepassingsgevalle
Verpakking en lewering
VEE
1. Oor Prys:
Al onze pryse is mededingend en onderhandelbaar. Die prys wissel afhanklik van die konfigurasie en aanpassingskompleksiteit van jou toestel.

2. Oor Steekproef:
Ons kan steekproefproduksiedienste vir jou verseker, maar jy moet moontlik sommige rekeninge betaal.

3. Oor Betaling:
Nadat die plan bevestig is, moet jy eers 'n voorschot aan ons betaal en die fabriek sal begin om die goeder te voorberei. Nadat die toerusting gereed is en jy die balans betaal, sal ons dit stuur.

4. Oor Levering:
Nadat die toerustingvervaardiging voltooi is, sal ons jou die akseptasievideo stuur, en jy kan ook na die plek kom om die toerusting te inspekteer.

5. Installasie en Afsteling:
Nadat die toerusting by jou fabriek aangekom het, kan ons ingenieurs uitstuur om die toerusting te installeer en af te stem. Ons sal jou 'n aparte offerte vir hierdie diensreeks verskaf.

6. Oor Garantie:
Ons toerusting het 'n 12-maande garantieperiode. Na die garantieperiode, as enige onderdele geskade is en vervang moet word, sal ons slegs die kosteprys vra.

7. Dienste na verkoop:
Alle masjiene het 'n waarborgperiode van meer as een jaar. Ons tegniese ingenieurs is altyd aanlyn om u met toerustinginstallasie, opsporing en instandhoudingsdiens te voorsien. Ons kan terplaatse-installasie en opsporingsdiens vir spesiale en groot toerusting verskaf.

Meer Produkte

Navraag

Kopiereg © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle regte voorbehou.

Privatheidbeleid

Navraag Email Whatsapp WeChat
Boonste
×

Neem kontak met ons op