MDAM-CMP100/150 presisie slypsel- en poliervaartuig, die hoofeenheid en al die vereplasbare dele word gemaak van hoog korrosiebestandige materiaal. Die hele masjien is korrosiebestendig, stabiel, draai-sponsies bestendig en roesbestendig, geskik vir chemiese meganiese slypsel en poliering van verskeie halfrigtingmateriaal. Die werksgebied word geskei van die beeldskermbeheerraamwerk en word met 'n raakskermbeheersisteem digitale beheer uitgeoefen. Dit word deur CNC beheer, kan gestoor word en kan teruggehaal word.
Die toestelstelsel het 'n tydinstellingfunksie, wat kontinu vir 10 ure kan werk en die spoed van die polsteerplaat kan beheer. Die beheerroël is buite die werksgebied geplaas om te voorkom dat abrasiewe oplossings op die beheerroël spetter. Alle parameters van die hoofstelsel kan op die raakskerm aangepas word. Die prosesparameters van die host het berg- en herwinfunksies om konsistensie en herhalingsvermoë van die proses te verseker. Die wafers-steekproef word deur vakuum op die onderkant van die vaste element geabsorbeer, uitgerus met 'n olvrye vakuum pomp, en het 'n onafhanklike anti-terugsogfunksie.
Die vaste configuratievoorbeeld horisontale rotasiedrifstelsel het 'n swingfunksie, met 'n swingbereik van 0-100% aanpasbaar. Die swingamplitude en frekwensiesnelheid kan deur die beheerpaneel akkuraat ingestel word. Die vaste is uitgerus met 'n onafhanklike drifstelsel vir rotasie, met 'n aanpasbare spoedbereik van 0-120rpm. Hierdie funksionele ontwerp verseker volledige swingpolering van die voorbeeld tydens die skuur- en poleringsproses, wat die polerkapasiteit en -effektiwiteit van die toerusting aansienlik verbeter.
Die vaste is uitgerus met 'n digitale diktebewakingspaneel met 'n bewakingsakkuraatheid van 1 μm. Die druk van die vaste op die wafervoorbeeld is kontinu aanpasbaar, met 'n drukbereik van 0-3.5kg en 'n akkuraatheid van 2g/cm², en uitgerus met 'n drukmetingtoestel.
Die bedryf van die slyp- en poliseringskyf word deur die hoofaandrywing beheer, en die skyfsnelheid kan van 0 tot 120 omwentelings per minuut aangepas word. Hierdie snelheidsvariasiebereik verseker doeltreffend die snelheid vir die slyp en polisering van monsters van verskillende hardheid en materiaalgroottes, wat hoër prosesparameters bewerkstellig.
Die vervanging van slyp skywe en polis skywe is eenvoudig en vinnig, met ingebedde skywe wat die toestel in staat stel om vinnig vanaf die slyp- na die polisprosesse oor te gaan, wat die proses tyd aansienlik verminder. En die slypskyf is toegerus met ’n skyfherstelblok om te verseker dat die slypskyf ’n goeie vlakheid het.