EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Planeêre Enkel-doel Magnetron-bekleedingsinstrument
Inleiding: Hierdie toestel is ’n lessenaarvlak-planêre enkel-doelwit-magnetrondopingsinstrument. Die onderste helfte van die kamer is ’n roestvrystaalstruktuur, en die boonste gedeelte is hoogs suiwer kwarts. Dit tree beide vir vakuumprestasie en die funksie van die aanpassing van ingewikkelde monsterfases in ag. Die voorkoms van die toestel is op lessenaarvlak, wat die installasieplekvereistes aansienlik verminder. Die toestel is toegerus met ’n GVK-kragbron en kan gebruik word vir die spuitbedekking van metale en ander geleidende materiale. Die vakuumstelsel van die toestel maak gebruik van ’n turbomolekulêre pompstel, wat ’n vinnige pompspoed, ’n hoë uiteindelike vakuumgraad en uitstekende vakuumprestasie bied. Hierdie toestel het ’n saamgepersde struktuur, volledige funksies en is maklik om te gebruik. Dit is baie geskik vir verskeie dopingsproewe.
