Inleiding:
Hierdie toestel is 'n dubbel-doelwit magnetron-bekledingsinstrument. Dit is toegerus met twee magnetron-doelwitte en twee stelle Gelykstroom-voedingstoestelle. Dit kan gebruik word om veelvlakkige geleiende metaalvelle aan te bring. Terselfdertyd bestaan die toestel uit twee dele: die hoofkamer en die oorgangskamer. Die oorgangskamer is toegerus met 'n magnetiese drukstang, en 'n vakuumhekwals is tussen die twee kamers geïnstalleer. Die gebruiker kan monsters in die oorgangskamer laai en voor-vakuum skep terwyl daar in die hoofkamer gesputter word. Nadat die sputtering in die hoofkamer voltooi is, kan die monster deur middel van die magnetiese drukstang na die monsterstadium van die hoofkamer gestoot word. Hierdie ontwerp kan die aantal kere wat die hoofkamer geëvakuëer en ontspan word, verminder, wat nie net tyd doeltreffend bespaar nie, maar ook 'n beter plaaslike vakuum waarborg en die bekledingskwaliteit doeltreffend verbeter.
Toepassing:
Dit kan gebruik word om enkel- of meervlae ferro-elektriese dunfilms, geleiende films, legeringsfilms, halfgeleierfilms, keramiese films, dielektriese films, optiese films, ens. voor te berei.