Beklemtoon
Inleiding: Hierdie toestel is ’n dubbel-doelwit magnetron-bekledingsinstrument. Dit is toegerus met twee magnetron-doelwitte en twee stelle GELYG-voedingstoestelle. Dit kan gebruik word om veelvlakkige geleiende metaalvelle aan te bring. Terselfdertyd bestaan die toestel uit twee dele: die hoofkamer en die oorgangskamer. Die oorgangskamer is toegerus met ’n magnetiese drupstang, en ’n vakuumhekwals is tussen die twee kamers geïnstalleer. Die gebruiker kan monsters in die oorgangskamer laai en ’n voor-vakuum skep terwyl daar in die hoofkamer gesputter word. Nadat die sputtering in die hoofkamer voltooi is, kan die monster deur middel van die magnetiese drupstang na die monsterhouer van die hoofkamer gestuur word. Hierdie ontwerp kan die aantal kere wat die hoofkamer ontlug en weer gevul word, verminder; dit kan nie net tyd doeltreffend bespaar nie, maar ook ’n beter plaaslike vakuum waarborg en die bekledingskwaliteit doeltreffend verbeter.
Toepassing: Dit kan gebruik word om enkel- of veelvlak-ferro-elektriese dunfilms, geleidende films, legeringsfilms, halfgeleierfilms, keramiese films, dielektriese films, optiese films, ens. voor te berei.