Inleiding:
Hierdie toerusting bestaan hoofsaaklik uit 'n vakuumkamer van roestvrystaal, 'n magnetroon-sproei-doelwit, 'n verdampingsbedekkingsapparaat, 'n monsterblad vir die plasing van monsters, 'n vakuumpompstel, 'n vakuummetingsmeter, 'n lugtoevoersisteem en 'n beheersisteem. Die hoofeenheid van die toerusting word bedryf deur 'n aanrakingsskerm en word gemeet deur 'n temperatuurbeheermeter. Sy digitale parameterkoppelvlak en outomatiese bedryf verskaf gebruikers met 'n uitstekende navorsings- en ontwikkelingsplatform. Die vakuumkamer maak gebruik van 'n onderkant-doelwitontwerp, en die monsterblad het verhitting- en rotasiefunksies, wat die bedekkingseffek meer eenvormig kan maak. Die vakuumverkrygingsisteem van die toerusting maak gebruik van 'n tweevlakkige vakuumpompstel. Die voorste-fasepomp is 'n hoëspoed-meganiese pomp wat die tyd van normale druk na lae vakuum doeltreffend verkort. Die hoofpomp is 'n turbo-molekulêre pomp met 'n hoë pompspoed en vinniger vakuumverkrygingsspoed. Die algehele vakuumverkrygingsisteem is skoon en vinnig.
Toepassing:
Dit kan gebruik word om enkel- of meervlae ferro-elektriese dunfilms, geleiende films, legeringsfilms, halfgeleierfilms, keramiese films, dielektriese films, optiese films, ens. voor te berei.