Presisie-CMP-stelsel

MDAM-CMP100 /MDAM-CMP150

Presisie-CMP-stelsel

Toerusting oorsig:

Die presisie-CMP-stelsel word hoofsaaklik gebruik vir die slyp- en verdunningprosesse van belangrike halfgeleier-chips soos silikon, silikondioksied en indiumantimoniëd-vlak-fokus-chips, sowel as vir chemies-meganiese poleringsprosesse van die onderkant, oppervlak en eindvlak.

Die hele masjien en alle komponente van die toestel is ten volle korrosiebestand, en die prosesparameters kan deur die aanraakskerm-interaktiewe koppelvlak ingestel word.

Verwerkbaar monsterformaat:

Monsterformaat ≤152 mm/6 duim

Verwerkbaar dikte is 50 μm tot 10 mm

Bereikbare prosesparameters:

1. Die totale dikteafwyking (TTV) van ’n φ75 mm skyf is binne 2 μm;

2. Die totale dikteafwyking (TTV) van ’n φ100 mm skyf is binne 3 μm;

3. Die totale dikteafwyking (TTV) van ’n φ150 mm skyf is binne 4 μm.

Tipes monsters wat verwerk kan word:

Silikon, silikoonkarbied, diamant, keramiek, galliumnitried, kwarts, galliumantimonied, indiumfosfied, galliumarsenied, kadmiumsinktelluried, kwiksinktelluried, litiumniobaat en ander halfgeleiermateriale.

Toerusting eienskappe:

1. Verwesenliking van die eindpuntopsporingsfunksie vir beheer van die monsterdikte.

2. Aanlyn, werklike tyd-slyp- en poliseringplaattemperatuurbeheer- en koelfunksie.

3. Veelkanaalvoedingstelsel.

4. Outomatiese spoelfunksie vir die slyp- en poliseringplaat.

5. Outomatiese plaatherstelfunksie.

6. Die vasleggingstoestel is toegerus met 'n digitale dikte-monitortafel met 'n moniteringsakkuraatheid van 0,1 μm.

Tegniese parameters:

Toestelkonfigurasie:

VEE

1. Oor Prys:

Al onze pryse is mededingend en onderhandelbaar. Die prys wissel afhanklik van die konfigurasie en aanpassingskompleksiteit van jou toestel.

2. Oor Steekproef:

Ons kan steekproefproduksiedienste vir jou verseker, maar jy moet moontlik sommige rekeninge betaal.

3. Oor Betaling:

Nadat die plan bevestig is, moet jy eers 'n voorschot aan ons betaal en die fabriek sal begin om die goeder te voorberei. Nadat die toerusting gereed is en jy die balans betaal, sal ons dit stuur.

4. Oor Levering:

Nadat die toerustingvervaardiging voltooi is, sal ons jou die akseptasievideo stuur, en jy kan ook na die plek kom om die toerusting te inspekteer.

5. Installasie en Afsteling:

Nadat die toerusting by jou fabriek aangekom het, kan ons ingenieurs uitstuur om die toerusting te installeer en af te stem. Ons sal jou 'n aparte offerte vir hierdie diensreeks verskaf.

6. Oor Garantie:

Ons toerusting het 'n 12-maande garantieperiode. Na die garantieperiode, as enige onderdele geskade is en vervang moet word, sal ons slegs die kosteprys vra.

7. Dienste na verkoop:

Alle masjiene het 'n waarborgperiode van meer as een jaar. Ons tegniese ingenieurs is altyd aanlyn om u met toerustinginstallasie, opsporing en instandhoudingsdiens te voorsien. Ons kan terplaatse-installasie en opsporingsdiens vir spesiale en groot toerusting verskaf.