Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kry Prys

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Tuisbladsy
Oor Ons
MH Uitrusting
Oplossing
Oseagebruikers
Video
Kontak Ons
Tuis> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Volledig outomatiese ICP etching masjien
  • MDICP-5000F Volledig outomatiese ICP etching masjien
  • MDICP-5000F Volledig outomatiese ICP etching masjien
  • MDICP-5000F Volledig outomatiese ICP etching masjien

MDICP-5000F Volledig outomatiese ICP etching masjien

Model: MDICP-5000F

Kry 'n Gratis Aanbieding
MDICP-5000F Volledig outomatiese ICP etching masjien
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Bestuursopsomming:

Die toerusting is 'n twee-kamer vakuumstelsel. Een kamer is die injeksie-steekproefkamer en die ander is die etch-kamer. 'n Vakuumslot word tussen die injeksie-steekproefkamer en die etch-kamer geïnstalleer, en die injeksie-steekproef word deur manipulator vervoer.
Die toerusting bestaan hoofsaaklik uit 'n vakuumstelsel, gasroetstelsel, elektriese stelsel, beheerstelsel, koelingstelsel, rolvoer- en neem-meganisme, alarmstelsel ens.

Vakuumstelsel:

Die stelsel bestaan uit 'n molekulêre pom met 'n pompvermoë van 600 L/S + 'n geïmporteerde vakuumdroë pom met 'n pompvermoë van L/S om die eroderingskamer na hoë vakuum te pom. 'n Elektriese dinamiese drukregulerende klep is tussen die molekulêre pom en die eroderingskamer geïnstalleer. Die geïmporteerde droë pom is die voorspoelpom van die eroderingskamer en die voorspoel-pom van die molekulêre pom. Gebruik 'n ander meganiese pom met 'n pompvermoë van L/S om die steekproefkamer te vakummeer. Onroestbare staal bellows word gebruik vir verbindings tussen meganiese pom en vakuumkamer en molekulêre pom, en 'n elektromagnetiese pneumatiese blokklepel is geïnstalleer.

Konstante drukbeheerstelsel

Die toerusting is uitgerus met 'n afstroomende konstante drukbeheersysteem, en 'n elektriese aanpasbare klep is in die lugtrekpijpleiding geïnstalleer. Deur middel van die meting van 'n filmmanometer (geïmporteerde onderdele), word die aanpasbare klep beheer om die vakuumkamer tot konstante druk te laat bereik, ten einde die prosesstabielheid te verbeter.

Konstante drukbeheerstelsel

Die toerusting is uitgerus met 'n afstroomende konstante drukbeheersysteem, en 'n elektriese aanpasbare klep is in die lugtrekpijpleiding geïnstalleer. Deur middel van die meting van 'n filmmanometer (geïmporteerde onderdele), word die aanpasbare klep beheer om die vakuumkamer tot konstante druk te laat bereik, ten einde die prosesstabielheid te verbeter.

Gasroetsisteem

Twee stelle RF-voeding met outomatiese passing.

Waarsyuingsisteem

Veiligheidsvereistes vir toerusting.
Spesifikasie
Naam
Spc
Merk
Nr.\/Stel
Nota
Etskamer, lugtrekpijpipeline, waarnemingsvenster, voorbehoudsondersteuning, ens
Standaard
JSWN
1
Anti-korrosie
Raham, elektriese kabinet, sluitings, standaarddele, ens
Standaard
JSWN
1
Etserkamer deksel optillingsstelsel
Standaard
JSWN
1
Anti-korrosie
Etser elektrode en koelingstelsel
Standaard
JSWN
1
Anti-korrosie
Molekulêre pom (pompsnelheid 600 L / s)
FF620/150
KYKY
1
Anti-korrosie
Invoer droë pom (pompsnelheid 9 L / s)
XDS-35I
EDWARDS
1
Anti-korrosie
Meganiese pom (pompsnelheid 9 L / s)
TRP-36
BWVAC
1
Elektriese reguleringsheksilinder
DCQ-150
JSWN
1
Anti-korrosie
Lugdrief bellows stopheks
KF40
JSWN
3
Anti-korrosie
Film meetinstrument
KF16
INFICON
1
Anti-korrosie
Massavloei besturer
D07
Sevenstar
4
Anti-korrosie
Pneumatiese diaphragmeklep
1⁄4″VCR
-
4
Anti-korrosie
Rooisytelbuise, buisverbindingsstukke, ens.
1⁄4″VCR
-
4
Anti-korrosie
RF-kr voer in/ outomatiese matcher
-
China(OptionalCROWN1310)
1
RF-kr voer in/ outomatiese matcher
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Samestelling vakuum meter
ZDF
RB
1
IPC
2U
China
1
LCD raakscherm
17 duim
China
1
PLC Beheersisteem
S7-200
Siemens
1
Elektriese drywemotorbeheersstelsel
Standaard
JSWN
1
Koelwaterdeteksie en buisstelsel
Standaard
JSWN
1
Gedrukte lugdeteksie en buisstelsel
Standaard
JSWN
1
Koel rondwatervoermasjien
HX
China
1
Etserinjeksiemieskamer
Standaard
JSWN
1
Vakuumsluiting
SMC
SMC
1
Manipulatorbeheersstelsel
SMC
SMC
1

Posbus tegniese parameter

1. Limietvakuum: Etserkamer 9.0×10-5Pa (Binnehuisvochtigheid≤55%)
Injeksie-steekproefkamer 6.0×10-1Pa
2. Etsermateriaal: Ⅲ, ⅤMateriaal, Si, SiO2, ens.
3. Etser tempo: ~ 1μ/minuut
4. Etser uniformiteit: ≤±5％(φ125mm bereik)
6. Elektroodgrootte: φ200mm

VEE

1. Oor Prys:

Al onze pryse is mededingend en onderhandelbaar. Die prys wissel afhanklik van die konfigurasie en aanpassingskompleksiteit van jou toestel.

 

2. Oor Steekproef:

Ons kan steekproefproduksiedienste vir jou verseker, maar jy moet moontlik sommige rekeninge betaal.

 

3. Oor Betaling:

Nadat die plan bevestig is, moet jy eers 'n voorschot aan ons betaal en die fabriek sal begin om die goeder te voorberei. Nadat die toerusting gereed is en jy die balans betaal, sal ons dit stuur.

 

4. Oor Levering:

Nadat die toerustingvervaardiging voltooi is, sal ons jou die akseptasievideo stuur, en jy kan ook na die plek kom om die toerusting te inspekteer.

 

5. Installasie en Afsteling:

Nadat die toerusting by jou fabriek aangekom het, kan ons ingenieurs uitstuur om die toerusting te installeer en af te stem. Ons sal jou 'n aparte offerte vir hierdie diensreeks verskaf.

 

6. Oor Garantie:

Ons toerusting het 'n 12-maande garantieperiode. Na die garantieperiode, as enige onderdele geskade is en vervang moet word, sal ons slegs die kosteprys vra.

 

7. Dienste na verkoop:

Alle masjiene het 'n waarborgperiode van meer as een jaar. Ons tegniese ingenieurs is altyd aanlyn om u met toerustinginstallasie, opsporing en instandhoudingsdiens te voorsien. Ons kan terplaatse-installasie en opsporingsdiens vir spesiale en groot toerusting verskaf.

Meer Produkte

Navraag

Kopiereg © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle regte voorbehou.

Privatheidbeleid

Navraag Email Whatsapp WeChat
Boonste
×

Neem kontak met ons op