Model: MDST-6100
Die ICP-droëplasma-asker is geskik vir toepassings soos ontvelling (voorbehandeling en residu-verwydering), polimeerverwydering (PI, BCB, PBO) en na-ioonimplantasie-fotoresisverwydering; die kamer bied plek vir 8-duim-monsters (met vermoë om ook 4-duim- en 6-duim-groottes te hanteer).
ICP Droë Plasma Fotoretentiemiddel Verwyderaar
Die ICP-droëplasma-asker is geskik vir toepassings soos ontvelling (voorbehandeling en residu-verwydering), polimeerverwydering (PI, BCB, PBO) en na-ioonimplantasie-fotoresisverwydering; die kamer bied plek vir 8-duim-monsters (met vermoë om ook 4-duim- en 6-duim-groottes te hanteer).
Die voorkoms van die toestel ondergaan voortdurende opgraderings en aanpassings; die werklike versendde produk is bepalend.



Voordel:
Hoë graad van plasma-ionisasie en -ontbinding
Na plasma-behandeling is die herhaalbaarheid hoog
Droë-etsing, geen besoedelingsbron nie
Beheer druk en temperatuur deur middel van vlinderkleppe
Kan plasma by hoë druk handhaaf
Skeiding van Hoëspanningsbron en Ion-genereerder
Mikrogolf-koppeling en magnetiese stroombaan is kompatibel
Kan kliëntvereistes bevredig
Lae temperatuur tydens verwerking
Vinnige reaksiespoed en kort reaksietyd



Model |
MDST6100 |
PLASMA bron |
radiofrequentie |
krag |
1000W |
Toepassingsgebied |
8 duim (vertoonbaar met 4 of 6 duim) |
Doosgrootte |
25 stukke |
Algehele afmetings |
L1696xB2170xH2146 mm |
Stelselbeheer |
PLC |
Materiaalbakkiesstelsel |
Outomaties |
Werklike foto's van toerusting:








Kopiereg © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle regte voorbehou.