ICP Droë Plasma Fotoretentiemiddel Verwyderaar
Die ICP droë plasma fotoretentiemiddel verwyderaar word hoofsaaklik gebruik vir polimeerverwydering, verasning, ontvelling, fotoretentiemiddelverwydering na ioonimplantasie en die skoonmaak van oppervlakrestante. Die MDST3100-kamer kan 4- tot 8-duim monsters akkommodeer met 'n enkel-skyfverwerkingvermoë, terwyl die MDST3200-kamer 4- tot 8-duim monsters akkommodeer met 'n kapasiteit van twee skywe per partjie.
Die voorkoms van die toestel ondergaan voortdurende opgraderings en aanpassings; die werklike versendde produk is bepalend.
ASHING
Polimer verwynwing
DESCUM
Droë skoonmaak van die harde maskerlaag
Verwydering van fotoretentie na ioonimplantasie
Oppervlak residu verwydering
Fotoretentie-verwydering in BAW/SAW-proses
Droë skoonmaak van die anti-weerspieëling grafiese film-laag
Oppervlakreiniging na etsering
Voordel:
Hoë graad van plasma-ionisasie en -ontbinding
Na plasma-behandeling is die herhaalbaarheid hoog
Droë-etsing, geen besoedelingsbron nie
Beheer druk en temperatuur deur middel van vlinderkleppe
Kan plasma by hoë druk handhaaf
Skeiding van Hoëspanningsbron en Ion-genereerder
Mikrogolf-koppeling en magnetiese stroombaan is kompatibel
Kan kliëntvereistes bevredig
Lae temperatuur tydens verwerking
Vinnige reaksiespoed en kort reaksietyd
Model |
MDST3100 |
MDST3200 |
|
PLASMA bron |
RF |
RF |
|
Krag |
ICP |
1000W
|
1000W
|
BIAS |
Na |
Na |
|
Toepassingsgebied |
4–8 duim |
4–8 duim |
|
Aantal wafels wat in een enkele operasie verwerk word |
1 |
2 |
|
Algehele afmetings |
1300x1190x1847 mm |
1300x1650x1850 mm |
|
Stelselbeheer |
Industriële Beheerstelsel |
||
gradering van outomatisering |
Outomaties |
||
Werklike Foto's van Toerusting ：
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kopiereg © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle regte voorbehou.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
