projek |
Spesifikasies |
aantekeninge |
||
1 |
Toerustingsoorsig |
Toerusting naam: Volledig outomatiese uniform lijm ontwikkelingsmasjien |
||
Toerusting model: MD-2C2D6 |
||||
Verwerkingswafer spesifikasies: kompatibel met 4/6-duim standaard wafers |
||||
Uniform lijm prosesvloei: Blommerk sny → sentreer → uniform lijm (drippe → uniform lijm → randverwijdering, agterkant was) → warm plaat → koue plaat → blommerk plaas Ontwikkelingsprosesvloei: Blommerk sny → sentreer → ontwikkel (ontwikkeloplossing → destilleerde water, agterkant was → stikstof droog) → warm plaat → koue plaat → blommerk plaas |
||||
Algehele grootte (ongeveer): 2100mm (W) * 1800mm (D) * 2100mm (H) |
||||
Chemiese kabinetgrootte (ongeveer): 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H) |
||||
Totale gewig (ongeveer): 1000kg |
||||
Werkbankhoogte: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Kassetteenheid |
Aantal: 2 |
||
Kompatibele grootte: 4/6 duime |
||||
Kassettedeteksie: mikroskakel-deteksie |
||||
Uitklapdeteksie: Ja, reflektiewe sensor |
||||
3 |
robot |
Kwantiteit: 1 |
||
Tipe: Dubbelarm vakuumadsorptierobot |
||||
Vryheidsgraad: 4-as (R1, R2, Z, T) |
||||
Vyngermateriaal: keramiek |
||||
Substraatvastigheidsmetode: vakuumadsorptiemetode |
||||
Kaartfunksie: Ja |
||||
Posisioneringsakkuraatheid: ± 0,1mm |
||||
4 |
Sentreer eenheid |
Kwantiteit: 1 stel |
Opsionele optiese uitlijning |
|
Uitlijningsmetode: meganiese uitlijning |
||||
Sentreerakkuraatheid: ± 0,2mm |
||||
5 |
Gelyke lijmpens |
Kwantiteit: 2 stelle (die volgende is die konfigurasies vir elke eenheid) |
||
Asrotasiesnelheid: -5000rpm~5000rpm |
draagrol |
|||
Asrotasieakkuraatheid: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Minimum aanpassing van asrotasiesnelheid: 1rpm |
||||
Maksimum versnelling van asrotasie: 20000rpm/s |
draagrol |
|||
Droppenarm: 1 stel |
||||
Fotoresist-buiskus: 2 kussings |
||||
Fotoresist-spruitopening deursnee: 2.5mm |
||||
Fotoresist-isolering: 23 ± 0.5 ℃ |
opsioneel |
|||
Vermoeidheidsspruitopening: Ja |
||||
RRC: Ja |
||||
Buffer: Ja, 200ml |
||||
Liempuntmetode: sentrum liem en skandeerliem is kiesbaar |
||||
Randverwyderingsarm: 1 stel |
||||
Randverwyderingsdopdeursnee: 0.2mm |
||||
Vloeimonitoring van randverwyderingsvloeiëld: vlotvloeimeter |
||||
Vloeibereik van randverwyderingsvloeiëld: 5-50ml/min |
||||
Terugspoelbuis: 2 weë (4/6 duim elk met 1 kanaal) |
||||
Terugspoelvloeimonitoring: vlotvloeimeter |
||||
Terugspoelvloeiëldvloei bereik: 20-200ml/min |
||||
Vastheidsmetode vir chips: klein-area-vakuumadsorpsie Chuck |
||||
Vakuumdrukwaarskuwing: digitale vakuumdruksensor |
||||
Chuck-materiaal: PPS |
||||
Bekmateriaal: PP |
||||
Bekuitloosbewaking: digitale druksensor |
||||
6 |
Ontwikkelingseenheid |
Skutter:ja |
||
Kwantiteit: 2 stelle (die volgende is die konfigurasies vir elke eenheid) |
||||
Asrotasiesnelheid: -5000rpm~5000rpm |
draagrol |
|||
Asrotasieakkuraatheid: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Minimum aanpassing van asrotasiesnelheid: 1rpm |
||||
Maksimum versnelling van asrotasie: 20000rpm/s |
draagrol |
|||
Ontwikkelingsarm: 1 stel |
||||
Ontwikkelingspyplyn: 2-weg (waaier-vormig/kolomvormige snykant) |
||||
Ontwikkelaarfiltrering: 0.2um |
||||
Ontwikkelaar temperatuurbeheer: 23 ± 0.5 ℃ |
opsioneel |
|||
Ontwikkeloplossingsvloei bereik: 100~1000ml/min |
||||
Bewegingsmodus van die ontwikkelarm: vaste punt of skandeer |
||||
Fuseringarm: 1 stel |
||||
Desgeleid water buis: 1 omloop |
||||
Desgeleid water sproeiernestydde: 4mm (binnendiameter) |
||||
Desgeleid water vloei bereik: 100~1000ml/min |
||||
Stikstofdroogbuis: 1 omloop |
||||
Stikstof sproeiernestydde: 4mm (binnendiameter) |
||||
Stikstofvloei bereik: 5-50L/min |
||||
Ontwikkelaar, destilleerde water, stroomtoevoer van stikstof: vlotstroommeter |
||||
Terugspoelbuis: 2 weë (4/6 duim elk met 1 kanaal) |
||||
Terugspoelvloeimonitoring: vlotvloeimeter |
||||
Terugspoelvloeiëldvloei bereik: 20-200ml/min |
||||
Vastheidsmetode vir chips: klein-area-vakuumadsorpsie Chuck |
||||
Vakuumdrukwaarskuwing: digitale vakuumdruksensor |
||||
Chuck-materiaal: PPS |
||||
Chuck-materiaal: PPS |
||||
Bekmateriaal: PP |
||||
Bekuitloosbewaking: digitale druksensor |
||||
7 |
Tackifying-eenheid |
Aantal: 2 |
opsioneel |
|
Temperatuurbereik: kamer temperatuur~180 ℃ |
||||
Temperatuuruniversiteit: Kamer temperatuur~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Verwyder 10mm van die rand, behalwe vir die uitstootpin gat) |
||||
Minimum aanpasingsbedrag: 0.1 ° C |
||||
Temperatuurbestuursmetode: PID-afstelling |
||||
PIN hoogtebereik: 0-20mm |
||||
PIN materiaal: lys SUS304, PIN pin kap PI |
||||
Bakopening: 0.2mm |
||||
Oortemperatuuralarm: positiewe en negatiewe afwykingsalarm |
||||
Verskaffingsmetode: Blas, 10 ± 2ml/min |
||||
Kameroptering vakuum: -5-20KPa |
||||
8 |
Warmplaat eenheid |
Kwantiteit: 10 |
||
Temperatuurbereik: ruimtetemperatuur~250 ℃ |
||||
Temperatuuruniversiteit: Kamer temperatuur~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Verwyder 10mm van die rand, behalwe vir die uitstootpin gat) |
||||
Minimale afrigtingsbedrag: 0.1 ℃ |
||||
Temperatuurbestuursmetode: PID-afstelling |
||||
PIN hoogtebereik: 0-20mm |
||||
PIN materiaal: lys SUS304, PIN pin kap PI |
||||
Bakopening: 0.2mm |
||||
Oortemperatuuralarm: positiewe en negatiewe afwykingsalarm |
||||
9 |
Kouplaat eenheid |
Aantal: 2 |
||
Temperatuurreeks: 15-25 ℃ |
||||
Koelmethode: konstante temperatuur sirkuleringspompkoeling |
||||
10 |
Chemiese Voorsiening |
Photoresist-opslag: pneumatiese lijmpomp * 4 stelle (Opsionele tank of elektriese lijmpomp) |
||
Lijsdoservolume: maksimum 12ml per sessie, noukeurigheid ± 0.2ml |
||||
Randverwijdering/terugwas/RRS voorsiening: 18L druktank * 2 (outomatiese hernuwing) |
||||
Randverwijdering/terugwas/RRS vloeistofvlak monitoring: foto-elektriese sensor |
||||
Photoresist vloeistofvlak monitoring: foto-elektriese sensor |
||||
Uitskakeling van uniforme lijfvloei afval: 10L afvalvloei tank |
||||
Ontwikkelaarvoorsiening: 18L druktank * 4 (Gestoor in die chemiekabinet buite die masjien) |
||||
Desgeleid watervoorsiening: direkte fabrieksvoorraad |
||||
Ontwikkelaar vloeistofnivoemonitoring: foto-elektriese sensor |
||||
Ontwikkelaar afvalafvoer: fabriekseffensafvoer |
||||
Voorsiening van takvastmaker: 10L druktank * 1, 2L druktank * 1 |
||||
Nivoemonitoring van takvastmaker: foto-elektriese sensor |
||||
11 |
beheerstelsel |
Beheermetode: PLC |
||
Mens-masjienebedryfskoppelvlak: 17 duim raakscherm |
||||
Ononderbroke magvoorsiening (UPS): Ja |
||||
Stel verslutselingstoestemming vir toestelbedieners, tegniciërs, administrateurs |
||||
Seintoringtipe: rooi, geel, groen 3 kleure |
||||
12 |
Systeem betroubaarheidsindikators |
Opsteeptyd: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500u |
||||
MTTR: ≤ 4u |
||||
MTBA: ≥24u |
||||
Fragmentsiasieweermal: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Ander funksies |
Gele lig: 4 stelle (posisie: bo die lijmeng- en ontwikkelingseenheid) |
||
THC: Ja, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
opsioneel |
|||
FFU: Klas 100, 5 stelle (proseseenheid en ROBOT gebied) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kopiereg © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle regte voorbehou.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
